Източник: mtiinstruments
ASTM F657:
Разстоянието през вафла между съответните точки на предната и задната повърхност. Дебелината се изразява в микрони или мили (хилядни от инч).
Общо изменение на дебелината (TTV)
ASTM F657:
Разликата между максималните и минималните стойности на дебелината, срещани по време на сканиране или серия от точкови измервания. TTV се изразява в микрони или мил (хилядни от инч).
Фигура по-горе показва вафла, поставена между две безконтактни измервателни сонди. Чрез наблюдение на промените между горната повърхност на сондата и горната повърхност на вафлата (A) и долната страна на сондата и долната повърхност на вафла (B) може да се изчисли дебелината. Първо системата трябва да бъде калибрирана с вафла с известна дебелина (T w ). Областта с известна дебелина се поставя между сондите и горната сонда за вафла (A) и се получава долна сонда за вафла (B). След това общата празнина (Gtotal) между горната и долната сонда се изчислява, както следва:
G общо = A + B + T w
С калибрираната система вече могат да се измерват вафли с неизвестна дебелина. Когато вафлата се постави между сондите, се придобива нова стойност на А и В. Дебелината се изчислява, както следва:
T w = G общо - (A + B)
По време на автоматизирано сканиране на вафлата се правят серия от точкови измервания и се съхраняват. След приключване на сканирането, TTV се изчислява, както следва:
TTV = T max - T min
НЕ КОНТАКТИ ИЗМЕРВАНЕ НА КАК
ASTM F534 3.1.2:
Отклонението на централната точка на средната повърхност на свободна, незабранена вафла от средната повърхностна равнина, установена от три точки, разположени еднакво на кръг с диаметър определен размер, по-малък от номиналния диаметър на пластината.
Средна повърхност:
Местонахождението на точките във вафлата, на еднакво разстояние между предната и задната повърхност. Когато измервате и изчислявате лъка, важно е да се отбележи, че средната повърхност на пластината трябва да бъде известна. Чрез измерване на отклоненията на средната повърхност от изчислението се отстраняват локализираните промени в дебелината в централната точка на пластината.
По-горе показва връзката на средната повърхност на вафлата между двете страни на сондата, където:
D = разстояние между горната и долната страна на сондата
A = Разстояние от горната сонда до горната повърхност на вафла
B = разстояние от долната сонда до долната повърхност на вафла
Z = разстояние между средната повърхност на вафла и точката, наполовина между горната и долната сонда (D / 2)
За да определите стойността на Z на всяко място на пластината, има две уравнения:
Z = D / 2 - A - T / 2 и Z = -D / 2 + B + T / 2
Решавайки и двете уравнения за Z, стойността може да бъде определена просто чрез:
Z = (B - A) / 2
Тъй като лъкът се измерва само в средната точка на вафлата, се изчислява три (3) точкова базова равнина около ръба на пластината. След това стойността на лъка се изчислява чрез измерване на местоположението на средната повърхност в центъра на пластината и определяне на разстоянието от референтната равнина. Обърнете внимание, че лъкът може да бъде положително или отрицателно число. Положителна означава, че средната точка на средната повърхност е над референтната равнина на три точки. Отрицателната означава, че средната точка на средната повърхност е под триточковата базова равнина.
РАБОТНО ИЗМЕРВАНЕ ЗА СОЛНАТА ПРОМИШЛЕНИЕ
ASTM F1390:
Разликите между максималните и минималните разстояния на средната повърхност на свободна незакачена вафла от референтно място. Подобно на лъка, основата е измерване на диференциацията между средната повърхност на вафла и референтната равнина. Warp обаче използва цялата средна повърхност на вафлата вместо само позицията в централната точка. Разглеждайки цялата вафла, warp осигурява по-полезно измерване на истинската форма на вафли. Местоположението на средната повърхност се изчислява точно както е за лък и е показано по-горе. За определяне на основата има два варианта за изграждане на еталонната равнина. Едната е същата триточкова равнина около ръба на вафлата. Другото е чрез извършване на изчисление на средната повърхностна информация, получена по време на сканирането на измерването, на най-малко квадратчета. След това основата се изчислява чрез намиране на максималното отклонение от базовата равнина (RPD max ) и минималното разграничаване от референтната равнина (RPD min ). RPD max се определя като най-голямото разстояние над еталонната равнина и е положително число. RPD min е най-голямото разстояние под референтната равнина и е отрицателно число.
Фигура по-горе е илюстрация на изчислението на основата. В този пример RPDmax е 1,5 и се показва като максимално разстояние на средната повърхност над референтната равнина. RPDmin е - 1,5 и се показва като максимално разстояние на средната повърхност под референтната равнина. Забележете, че деформацията винаги е положителна стойност.
Warp = 1,5 - (-1,5) = 3
Той също така илюстрира полезността да се вземат както показания на лък, така и основи. Средната повърхност на показаната вафла пресича базовата равнина в центъра на вафлата, следователно измерването на лъка ще бъде нула. Изчислената основна стойност е по-полезна в този случай, тъй като казва на потребителя, че вафлата има нередности във формата.